等离子废气处理的工作原理是流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞,将能量转化成基态介质的 内能,发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。
污染介质在等离子体的作用下, 产生活性自由基,活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被脱离。当离子平均能量超过污染 介质中化学链结合能时,分子链段裂,污染介质分解,并在等离子废气净化器吸附场的作用下被收集。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的放电电压时,气体被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。 放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为低温等离子体。 低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用,使污染物分子在极短的时间内发生分解,并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
等离子体反应区富含*的物质,如高能电子、离子、自由基和激发态分子等,废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应,使污染物质在极短的时间内发生分解,并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。 与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较,等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍,这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
一旦放电,等离子体电子就与气体分子相撞击,产生化学性活性核素,就是通常所说的激进和负荷载体。此外还具有微型静电沉淀器的功能,该装置可以出尘。同时注入环境或者二级气体来优化反应室的湿度和温度等级,与此同时加入离子来改善反应室内的反应。这种冷离子体处理方法使有机气体在低温下进行“氧化"。 
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